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晶圓鍵合機 微流控加工

簡要描述:EVG501 晶圓鍵合機 微流控加工是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng),可處理從單芯片到150 mm(200 mm鍵合室的情況下為200 mm)的基片。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝,如陽極,玻璃料,焊料,共晶,瞬態(tài)液相和直接鍵合。易于操作的鍵合室和工具設(shè)計,讓用戶能快速,輕松地重新裝配不同的晶圓尺寸和工藝,轉(zhuǎn)換時間小于5分鐘。這種多功能性非常適合大學(xué),研發(fā)機構(gòu)或小批量生產(chǎn)。適合于微流控加工過程。

  • 產(chǎn)品型號:EVG501
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔
  • 更新時間:2026-03-24
  • 訪  問  量: 4707

詳細介紹

EVG501 晶圓鍵合機 微流控加工

 

用于學(xué)術(shù)和工業(yè)研究的多功能手動晶圓鍵合系統(tǒng)。

適用于:微流體芯片,半導(dǎo)體器件處理,MEMS制造,TSV制作,晶圓先進封裝等。

 

一、簡介

EVG501 晶圓鍵合機 微流控加工是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng),可處理從單芯片到150 mm(200 mm鍵合室的情況下為200 mm)的基片。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝,如陽極,玻璃料,焊料,共晶,瞬態(tài)液相和直接鍵合。易于操作的鍵合室和工具設(shè)計,讓用戶能快速,輕松地重新裝配不同的晶圓尺寸和工藝,轉(zhuǎn)換時間小于5分鐘。這種多功能性非常適合大學(xué),研發(fā)機構(gòu)或小批量生產(chǎn)。鍵合室的基本設(shè)計在EVG的HVM(量產(chǎn))工具上是相同的,例如GEMINI,鍵合程序很容易轉(zhuǎn)移,這樣可以輕松擴大生產(chǎn)量。

 

二、特征

帶有150 mm或200 mm加熱器的鍵合室

壓力和溫度均勻性

與EVG的機械和光學(xué)對準(zhǔn)器兼容

靈活的設(shè)計和研究配置

從單芯片到晶圓

各種工藝(共晶,焊料,TLP,直接鍵合)

可選渦輪泵(<1E-5 mbar)

可升級陽極鍵合

開放式腔室設(shè)計,便于轉(zhuǎn)換和維護

 

EVG501 晶圓鍵合機兼容試生產(chǎn)需求:

同類產(chǎn)品中的低擁有成本

開放式腔室設(shè)計,便于轉(zhuǎn)換和維護

小占地面積的200 mm鍵合系統(tǒng):0.8㎡

程序與EVG HVM鍵合系統(tǒng)*兼容

 

三、參數(shù)

參數(shù)名稱 參數(shù)值
大鍵合力 20 kN
加熱器尺寸 150 mm(最小為單個芯片);200 mm(最小100 mm)
真空 標(biāo)準(zhǔn):0.1 mbar;可選:1E-5 mbar

 

 EVG501是一款專為學(xué)術(shù)研究、研發(fā)機構(gòu)及小批量生產(chǎn)設(shè)計的高度靈活的手動晶圓鍵合系統(tǒng),兼容單芯片至150 mm(可選200 mm鍵合室)基片,支持陽極鍵合、玻璃料、共晶、焊料、瞬態(tài)液相(TLP)及直接鍵合等多種主流鍵合工藝。開放式腔室設(shè)計使得晶圓尺寸與工藝類型切換可在5分鐘內(nèi)完成,擁有成本低,占地面積僅0.8㎡,非常適合多項目交替開展的實驗室環(huán)境。

 

在實際選型時,用戶可根據(jù)樣品尺寸選擇150 mm或200 mm加熱器,并根據(jù)真空需求選配標(biāo)準(zhǔn)0.1 mbar或高真空渦輪泵(<1E-5 mbar)配置;若涉及玻璃-硅陽極鍵合,可升級陽極鍵合模塊。

 

設(shè)備與EVG GEMINI等量產(chǎn)型鍵合機的工藝程序兼容,便于后續(xù)工藝向大批量制造轉(zhuǎn)移。在配套支持方面,我們可協(xié)助進行鍵合工藝參數(shù)開發(fā)(如溫度、壓力、氣氛設(shè)定)、提供對準(zhǔn)器(機械或光學(xué))的選配建議,并支持從單芯片工藝驗證到小批量試產(chǎn)的全流程方案設(shè)計。

 

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