探針測量是通過監(jiān)測精密探針劃過薄膜表面的偏移測量薄膜厚度和粗糙度，常常是不透明薄膜如金屬薄膜的其中一種測量方法。

KOSAKA 臺階儀（探針臺）具有以下特點：

二維／三維表面粗度解析及臺階測定，可實現(xiàn)高精度、高辨識能力及*的安全性。

用于平板顯示器、硅片、硬盤等的微細(xì)形狀臺階／粗度測定另外也可利用微小測定力來對應(yīng)軟質(zhì)樣品表面測定。

具備載物臺旋轉(zhuǎn)功能，便于定位下針位置。

高精度 • 高穩(wěn)定性 • 功能超群。

FPD 基板 • 硅片 • 硬盤等

微細(xì)形狀、段差、粗糙度等測量。

KOSAKA ET4000系列臺階儀提供多型號選擇，滿足從研發(fā)到量產(chǎn)的多種測量需求：ET4000M適用于高精度基礎(chǔ)測量，ET4000A實現(xiàn)全自動操作，ET4000AK支持二維/三維自動掃描與表面形貌重建，ET4000L可應(yīng)對大尺寸FPD基板，ET4300則專為12英寸晶圓全行程連續(xù)測定設(shè)計。
全系列垂直分辨率可達(dá)≤0.1 nm，臺階高度重復(fù)性優(yōu)于5 Å，探針力可低至μN級，適用于光刻膠、柔性薄膜等軟質(zhì)材料。水平掃描范圍與載物臺尺寸根據(jù)型號靈活配置，支持自動多點測量、Mapping輸出及SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容的分析軟件。
在服務(wù)方面，我們提供探針耗材供應(yīng)、定期校準(zhǔn)、技術(shù)培訓(xùn)及快速售后響應(yīng)，并可依據(jù)您的樣品與應(yīng)用場景，提供詳細(xì)技術(shù)規(guī)格書、樣品實測或在線演示支持，歡迎咨詢了解。