第四代通用規(guī)格參數(shù)

緊湊型光學(xué)組件：光源尺寸 125 x 80 x 60 mm，檢測器尺寸 110 x 80 x 60 mm。

連接簡便：配備 +12V 壁掛式電源適配器、以太網(wǎng)接口（Ethernet）以及光源-檢測器連接線纜。

電動(dòng)光源起偏器：
– 支持儀器自動(dòng)校準(zhǔn)；
– 支持區(qū)域平均測量，有效提升測量精度。

測量精度顯著提升：光強(qiáng)達(dá)到初代 FS-1 型號(hào)的 4 倍，配合升級(jí)的檢測器電子元件，使測量精度實(shí)現(xiàn)倍增（離位測量精度提升 2 倍，原位測量精度提升 4 倍）。

• 8個(gè)波長，光譜范圍 370 – 950 nm

• 紫外波長（370 nm）在測量 < 10 nm 的超薄膜時(shí)，能夠提供更高的靈敏度。

• 3個(gè)較長波長（735、850 和 950 nm）支持測量較厚的透明薄膜（最厚可達(dá) 5 μm），以及吸收性半導(dǎo)體薄膜（如多晶硅 poly-Si、硅鍺 SiGe、非晶硅 a-Si 等）。

• 借助這3個(gè)較長波長，薄膜電阻率的測量（基于 Drude 德魯?shù)履Ｐ停┮驳玫搅烁纳啤?/span>

• 8個(gè)波長與更寬的光譜范圍，進(jìn)一步提升了多層膜堆疊結(jié)構(gòu)的測量能力。

• 入射角：65°。

• 樣品裝載：采用手動(dòng)裝載與高度調(diào)節(jié)。

• 適用樣品尺寸：直徑最大 200 mm，厚度最大 20 mm。

• 樣品傾斜度：支持 ±2° 范圍內(nèi)的傾斜調(diào)節(jié)。

• 光斑尺寸：照射在樣品上的光斑大小為 4 x 9 mm。

• 設(shè)備外觀：占地面積小（180 x 400 mm），機(jī)身輕巧（僅重 5 kg）。