缺陷檢查裝置

簡要描述：LODAS™ – AI50/100是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。

產(chǎn)品型號：LODAS™ – AI50/100
廠商性質(zhì)：代理商
產(chǎn)品資料：
更新時間：2026-08-03
訪問量： 122

產(chǎn)品分類

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詳細(xì)介紹

列真株式會社自創(chuàng)業(yè)以來，秉承“挑戰(zhàn)"、“創(chuàng)造"、“誠實"的經(jīng)營理念，為顧客提供可靠、可信的產(chǎn)品和服務(wù)。運用激光掃描技術(shù)，專門制造、銷售半導(dǎo)體材料表面及內(nèi)部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。

特征：

半導(dǎo)體用Photomask Blanks的出廠檢查、工藝評價
用微分干涉顯微鏡分析缺陷
檢查對象：Photomask Substrate、Cr、Resist、MoSi
檢查項目：顆粒、內(nèi)部缺陷（Option）
檢查靈敏度：PDM缺陷尺寸0.1μm（AI00）

列真公司檢查裝置的維護、修理

定期支持裝置安裝完成后的性能維持。
24小時電話對應(yīng)，全年無休的安心支持。
認(rèn)真對待客戶新的要求。
召開技術(shù)研討會和充實各種手冊，讓顧客能夠自行維護和更換零件。
提供HDD、激光光源等消耗品的免費診斷服務(wù)。

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