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GrazingMaster600平面度測量儀專業(yè)為微米級平面度平面零件制造商提供納米級的表面平整度測量功能。采用非接觸式光學干涉技術快速測量零件的整個表面，可以幫助用戶快速評價從光滑到粗糙平面的平面度誤差，尤其適合非鏡面類平面表面的納米級平面度精密測量。同時，系統(tǒng)集成白光干涉三維測量顯微鏡，可以同步實現(xiàn)精密平面表面微觀粗糙度和微結構的三維測量。

TGV600是一款專為玻璃基板(TGV)板級制程開發(fā)的全功能量檢測設備，集成了顯微內應力定量測量、高速2D光學檢測(AOI)與3D形貌量測三大核心能力，覆蓋從TGV通孔加工到填充、布線、封裝的全流程質量監(jiān)控需求。系統(tǒng)采用瞬時光彈測量應力定量測量核心技術，同時支持集成玻璃基板表面缺陷檢查，通孔2D參數(shù)測量及通孔凹陷3D量檢測功能，為TGV工藝提供快速全流程高性價比解決方案，是TGV工藝研發(fā)和質量監(jiān)控